MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。
主要技术参数:
◆ 测量范围(XYZ):标准:200×200×25mm;可选:300x300x25
◆ 视场内测量精度:10nm(100X 镜头);Z轴聚焦范围:25 mm
◆ 视场内测量范围:0.5um~400um;
◆ 视场内测量重复性(100x 物镜): 晶圆上
MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。
主要技术参数:
◆ 测量范围(XYZ):标准:200×200×25mm;可选:300x300x25
◆ 视场内测量精度:10nm(100X 镜头);Z轴聚焦范围:25 mm
◆ 视场内测量范围:0.5um~400um;
◆ 视场内测量重复性(100x 物镜): 晶圆上